更新時間：2025-09-16
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廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
生產(chǎn)地址：江蘇蘇州
產(chǎn)品能力再定義：
表面微粒檢測儀（SPD）測量和控制表面微粒污染的---使得其變得更好。新一代的表面微粒檢測儀涵蓋了我們核心的表面測量技術(shù)能夠分辨0.1微米的微粒并且大大增加了當(dāng)今在潔凈室中的使用。
隨著高科技產(chǎn)業(yè)開始傾向于越來越小的幾何體，工作更快，分辨率更高，產(chǎn)品更加復(fù)合化，表面微粒等級控制在0.1微米范圍內(nèi)，成為了產(chǎn)量和過程控制中的關(guān)鍵。
應(yīng)用范圍：
高標(biāo)準(zhǔn)醫(yī)療器械、高精度半導(dǎo)體、高精度光學(xué)器械、高清液晶顯示屏、精密電路板、精密電子器械等所需表面潔凈度檢測儀器設(shè)備。
優(yōu)點：
可預(yù)見的，每次的儀器*恢復(fù)。
減少25-50%的恢復(fù)時間
減少50%+的顆粒數(shù)
減少干燥處理及晶圓測試
減少泵的清洗周期
提升MTBC至4X或者更多
提升10%+的工具可用性
減少PM周期時間
減少故障事件
符合ISO-14644-9表面粒子規(guī)范
新型QIII ULTAR SPD 包括：
HeNe激光光學(xué)0.1微米的分辨率
采用新型的靜態(tài)采樣模式提高測量精度
新型7寸高分辨率（WVGA）屏幕，顯示清晰的圖像和文字。
新式取樣頭插座設(shè)計，取樣頭更換，更輕易，便利
雙電池插槽設(shè)計，可熱抽換，新式智慧型鋰電池設(shè)計
收集的資料現(xiàn)在可以被很容易的通過USB下載
通過USB接口，軟件可直接被用戶升級
6個粒徑通道，增強(qiáng)粒子的區(qū)分的可視性
*時間PM自凈
如何測量過程室的潔凈度在PM期間？SPD可以大大減少PM自凈時間，green-to-green時間，并且提高了fab的吞吐量，通過使用QIII SPD，你能直接的測量物體表面精確的0.1微米的微粒。用QIII SPD開始清潔的結(jié)果是，*時間復(fù)原所有尺寸的粒子個數(shù)，讓經(jīng)過處理過的工具有明顯的效果。
綠色-到-綠色 時間？（所有PM時間，包括了自凈時間）
降低了50%的自凈時間
保持低的green-to-green時間
QIII SPD 按PM實施
MTBC增長
通過結(jié)合QIII SPD在PM進(jìn)程中粒子控制，MTBC可以增長。
舉例1.1：300mm介質(zhì)工具
MTBC pre-QIII SPD: 174 rf hrs
MTBC post-QIII SPD: 300 rf hrs
ROI:3.6個月
舉例2.
舉例1.2：300mm金屬工具
MTBC pre-QIII SPD: 40 rf hrs
MTBC post-QIII SPD: 110 rf hrs
ROI:0.6個月
產(chǎn)品技術(shù)資料：
尺寸(DxH)：14X23X9
重量：38 lbs
電源：100-240VAC,50/60HZ
電池：鋰電池，可選電池充電器
顯示屏：WVGA 7寸觸摸屏
GUI：Windows CE
傳感器：HeNe 敏感達(dá)到0.1微米
輸出：USB或者以太網(wǎng)
探頭的選擇：
標(biāo)準(zhǔn)：1/2 直角，2 平角
查看探頭說明書里的選項
可根據(jù)要求定制、
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